System wody DIDostawa i instalacja systemu wody dejonizowanej wraz z modernizacją urządzenia do mycia masek fotolitograficznych i jego integracją z instalacją DI

1. Przedmiotem zamówienia – dostawę, instalację i uruchomienie dedykowanej instalacji wody dejonizowanej (DI) wraz z modernizacją urządzenia do mycia masek fotolitograficznych, został podzielony na dwie części:Część 2: Przedmiotem zamówienia jest modernizacja urządzenia do mycia masek (modernizacja systemu WB-06612 firmy AP&S) i jego integracja z instalacją DI, zwanego dalej „przedmiotem zamówienia”.2. Wymagania i parametry techniczne przedmiotu zamówienia określone są w Załączniku nr 1 do SWZ – odpowiednio dla części nr 1 i części nr 2, będący jednocześnie opisem oferowanego przedmiotu zamówienia (przedmiotowy środek dowodowy). Zamawiający zastrzega możliwość wezwania do złożenia wyjaśnień treści załącznika nr 1 do SWZ. 3. Zaoferowany przedmiot zamówienia musi być zgodny ze szczegółowym opisem przedmiotu zamówienia i spełniać opisane wymagania.