DOSTAWA LABORATORYJNEGO SYSTEMU DO FIZYCZNEGO OSADZANIA Z FAZY GAZOWEJ (PVD) DLA CENTRUM MATERIAŁÓW POLIMEROWYCH I WĘGLOWYCH PAN W ZABRZU, UL. MARII CURIE-SKŁODOWSKIEJ 34

Dostawa laboratoryjnego systemu do fizycznego osadzania z fazy gazowej (PVD). Zamawiany system winien spełniać następujące wymagania techniczne:1. Konstrukcja i rozmiar:• Kompaktowa konstrukcja stołowa lub wolnostojąca• Komora i komponenty wykonane z materiałów odpornych na działanie wysokiej próżni (przykładowo stal nierdzewna, aluminium)• Uchylne wieko lub drzwi umożliwiające łatwy załadunek próbek• Objętość komory procesowej nie mniejsza niż 10 dm3• Mile widziana możliwość obserwacji procesu w komorze procesowej (np. przez okno poglądowe lub równoważne rozwiązanie)2. Źródła depozycji i zasilanie:• Minimum dwa działa magnetronowe kompatybilne z targetami o średnicy 2”• Zasilacz RF o mocy nie mniejszej niż 300 W• Zasilacz DC o mocy nie mniejszej niż 750 W• Urządzenie musi umożliwiać jednoczesną pracę tzw. kodepozycję z co najmniej dwóch źródeł• Mile widziana możliwość rozbudowy o trzecie źródło3. Układ gazowy:• Minimum dwie linie gazowe z MFC (np. Ar + gaz reaktywnego np. O2/N2/CH4)• Mile widziana możliwość rozbudowy o dodatkową linie gazową4. Parametry stolika:• Możliwość mocowania próbek do 4”• Wyposażenie w automatyczną przesłonę• Możliwość rozbudowy o moduł grzewczy (min 500 °C lub więcej)• Stolik obrotowy w zakresie 2-20 rpm• Mile widziana możliwość polaryzacji stolika5. Kontrola procesu osadzania• Czujnik kwarcowy (QCM) do monitorowania procesu osadzania i grubości warstwy• Wbudowany sterownik lub komputer z oprogramowaniem umożliwiającym ustawianie parametrów procesu, zapisywanie receptur i eksport danych do formatów CSV, TXT lub równoważnych6. Układ próżniowy• Pompa wstępna membranowa lub olejowa (w przypadku pompy olejowej filtr mgły olejowej wymagany) o minimalnej wydajności  2 m3/h• Pompa turbomolekularna o prędkości pompowania dla azotu nie mniejszej niż  66 l/s• Osiągalne ciśnienie bazowe w komorze  5x10-7 mbar 7. Dostawa i serwis• Dostawa, instalacja i szkolenie personelu w języku polskim lub angielskim• Cena oferty obejmuje transport, ubezpieczenie, odprawę celną oraz należności importowe • Gwarancja min 24 miesiące• Deklaracja zgodności CE• Mile widziane zdalne wsparcie serwisowe lub lokalne w przeciągu 72h od zgłoszenia awarii